本站音书，凭证天眼查APP数据浮现华海清科（688120）新得回一项发明专利授权，专利名为“一种边际切割晶圆的在位检测安装和在位检测武艺”，专利肯求号为CN202111612428.8，授权日为2024年12月31日。

专利摘抄：本发明公开了一种边际切割晶圆的在位检测安装和在位检测武艺，其包括：斜孔，其树立于托架的顶部；介质源，其通过管路与所述斜孔连通；压力传感器，其树立于斜孔与介质源之间的管路，以检测管路的压力；甩手部，其与压力传感器衔接，以凭证所述管路的压力判定晶圆是否在位；其中，所述托架的顶部还竖立有与斜孔重迭的凹槽，所述凹槽的里面安装有垫板，所述垫板局部庇荫斜孔以造成检测孔；若托架上的晶圆在位，则晶圆部分或一皆封堵检测孔以引起管路的压力变化。

本年以来华海清科新得回专利授权0个。集合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面参加了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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